型号
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NXP-6M
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NXP-6P
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NXP-6NP
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行程
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X 、Y 、Z直线行程为4 mm。Rx、 Ry、 Rz(摆动、俯仰和偏转)行程为4 。(70mrad)
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传动比
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X轴和Y轴传动比为1: 1.5,驱动器每平移1 mm,位移台将平移1.5 mm;Z轴的传动比为1:1;三个旋转轴驱动每平移 1μm,旋转17μrad
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分辨率
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见驱动
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旋转中心
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公共旋转中心;*大串扰100 µm
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压电
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规格
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无
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开环压电
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闭环压电
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行程
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19µm
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分辨率
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X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad
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*大负载
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1kg
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共振频率
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>130 Hz(±10%)
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热稳定性
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1μm/℃
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型号
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NXP-3M
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NXP-3P
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NXP-3NP
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行程
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4 mm
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传动比
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1:1
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分辨率
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见驱动
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串扰
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100um
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顶板平行度
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<100µm
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压电
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规格
|
无
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开环压电
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闭环压电
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行程
|
19µm
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分辨率
|
X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad
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|||
*大负载
|
1kg
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共振频率
|
>130 Hz(±10%)
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热稳定性
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1μm/℃
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型号
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DNXP-M
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DNXP-A
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驱动类型
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手动
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电动
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行程
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13mm
与NXP系列设备配合使用后行程4mm
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8mm
与NXP系列设备配合使用后行程4mm
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分辨率
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粗调10 µm,微调0.5 µm
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1.25 µm
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电机
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无
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28步进电机,步距角1.8。
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限位
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内置限位开关
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定位精度
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双向重复性为5.0 µm
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品牌: | zolix |
型号: | NXP系列 |
加工定制: | 是 |