QF  系列代码： QF:单轴空气轴承类滑台  QFD:XY组合空气轴承类滑台 QFH:龙门组合空气轴承类滑台

25  台面宽度： 25:250mm 30:300mm

300   有效行程： 100:100mm 200:200mm 300:300mm

S      基座材质： A:铝合金 S:大理石 C:碳化硅

B    分辨率： 1:0.1 μm S:50nm B:20nm

N    电机类型： N:无铁芯 M:有铁芯

A    台面材质： A:铝合金 T:其它

型号	QF25-100A-BNA	QF25-200A-BNA	QF25-300A-BNA	QF25-400A-BNA
台面尺寸(mm)	245x200(运动方向)
厚度(mm)	120
移动量(mm)	100	200	300	400
光栅尺分辨率(nm)	20
驱动方式	无铁芯直线电机
导轨	一体式静压导轨
双向重复精度(μm)	0.4
无修正定位精度(μm)	1.2
直线度(μm)	2	2.5	3	3
俯仰(arcsec)	4.5
偏摆(arcsec)	2.1
主体材料及表面处理	铝合金，黑色硬质阳极氧化处理
中心负载(Kg)	10/μm

型号	QF25-400S-BNA	QF25-500S-BNA	QF25-600S-BNA	QF25-800S-BNA
台面尺寸(mm)	290x200(运动方向)
厚度(mm)	189
移动量(mm)	400	500	600	800
光栅尺分辨率(nm)	20
驱动方式	无铁芯直线电机
导轨	气浮脚式静压导轨
双向重复精度(um)	0.3
无修正定位精度(μm)	1.2
直线度(μm)	2	3	5	5
俯仰(arcsec)	2
偏摆(arcsec)	2
主体材料及表面处理	大理石，铝合金
中心负载(Kg)	15/um

项目	xxxA	xxxS	xxxC
材质	铝合金	大理石	碳化硅陶瓷
导轨长度(mm)	200~800	400~3000	400~2000
外形尺寸(mm)	超小~中	中~超大	小、中、大
制作方式	机加工	磨削	烧制
重复精度(μm)	0.3	0.3	0.25
直线度(μm)	1~3	2~5	2~3
组合形式	X, XY(小)	X、XY、龙门	X、XY、龙门
造价(元)	1~10	5~100	50~1000